真空系统通常涉及具有显著热输出的过程,需要集成冷却选项的腔室。涉及高热负荷的应用包括:真空沉积法,如CVD, MOCVD, PVD, MBE和IBAD;晶体生长,空间模拟,真空炉。

冷却真空室有多种选择

在设计你的燃烧室时,重要的是要考虑这些基本选项的有效热传递和成本。

双层墙室

Hydro-formed室

焊接“C”频道

室冷却选项

双层墙室
有盖通道(加工成墙)
Hydro-formed渠道
焊接“C”频道
包装管

热传递

非常高的


温和的

成本效益

很好


平均
可怜的

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