真空系统通常涉及具有显著热输出的过程,需要集成冷却选项的腔室。涉及高热负荷的应用包括:真空沉积法,如CVD, MOCVD, PVD, MBE和IBAD;晶体生长,空间模拟,真空炉。

用于冷却真空室的许多选择

在设计你的燃烧室时,重要的是要考虑这些基本选项的有效热传递和成本。

双层墙室

水电成型室

焊接“C”通道

室冷却选项

双层墙室
覆盖的频道(加工成墙壁)
水力形成的通道
焊接'C'通道
包裹管

热转印

非常高的


温和的
低的

成本效益

很好


平均数
较差的

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