使用新的运动操纵产品展开您的集成真空设备

发表于:2017年4月12日

beplay体育提款出不来安德森·达伦(ADI) - 应用真空部门为各种研究和工业设备提供解决方案。我们制造和集成基本的复杂运动,操纵和样品转移机制,以适应在HV / UHV / XHV气氛下工作的定制室几何形状。精密磁性机械手(PMM)器件适用于受控环境应用,如薄膜工艺工具,分析系统和表面科学研究设备。

HV-UHV线性和线性/旋转精密磁动运动机械手

可提供直线和线性/旋转运动,PMMS采用全金属内部结构制造,用于高真空,超高真空或受控环境。这些转运仪可致命到250℃。

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手动和电动样品传输系统

这种高真空兼容,单基片负载锁定系统设计用于手动加载硅片或其他平面基片到半标准或定制工艺室。吉祥物可以模仿复杂而昂贵的机器人的动作,但使用方便,而且大大降低了成本。

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HV-UHV旋转运动机械手

模型DBROM处理高分离扭矩和严格的角度顺应,并可烘烤到250C。用户指定的选择包括轴的尺寸和数量;轴材的选择;轴的长度;可选择空心轴或实心轴;以及末端细节,如平面,螺纹等,使这些单位适合广泛的需求。

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具有样品传输和运动操纵器的自定义集成组件

我们创新的真空传输集成组件具有多轴步进电机控制系统,手动和气动驱动控制系统,定制腔体X, Y和旋转工作台,真空箱样品传输系统,双方向腔体定制MASCOT负载锁,特高压兼容齿条和齿轮传送器,和更多…

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